偏心輪在泵腔內(nèi)作回轉(zhuǎn)運動,使由滑環(huán)和滑桿分隔的兩個工作室容積作周期性變化以實現(xiàn)抽氣的真空泵。
滑閥真空泵主要由泵體、滑環(huán)、偏心輪、轉(zhuǎn)動軸和滑桿組成。轉(zhuǎn)動軸的軸心與泵腔中心重合。在滑環(huán)上固定的長方形滑桿,能在裝于泵體中的滑動導軌中上下滑動和左右擺動。偏心輪連續(xù)不斷地旋轉(zhuǎn),氣體便不斷地被吸入、壓縮和排出而達到連續(xù)抽氣的目的。在泵腔內(nèi)各相對運動件表面間有油膜密封,所以這種真空泵是一種油封式機械真空泵。滑閥真空泵極限壓力:單級泵為0.4帕,雙級泵為0.065帕;工作壓力范圍為1×105~13帕;抽速范圍為8~600升/秒(1升=10-3米3)。
滑閥真空泵可單獨作用或作為真空機組的前級泵。如安裝氣鎮(zhèn)閥,可抽含有少量可凝性蒸汽的氣體。滑閥真空泵在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬和真空蒸餾等方面都得到廣泛應用。